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Polymers for microelectronics [Book :]resists and dielectrics / Larry F. Thompson, editor, C. Grant Willson, editor, Seiichi Tagawa, editor.

von Thompson,Larry F | Tagawa, Seiichi | Thompson, L. F, 1944- | Willson, C. G. (C. Grant), 1939- | American Chemical Society. Division of Polymeric Materials: Science and Engineering | American Chemical Society. Meeting (203rd : 1992 : San Francisco, Calif.).

Materialtyp: book Buch; Format: Druck ; Literarische Form: Sachliteratur Verlag: Washington, DC : American Chemical Society, 1994Online-Ressourcen: Publisher description | Table of contents only Verfügbarkeit: Ausleihbare Exemplare: 6october [Signatur: 621.381531 T P] (5).

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2.
Polymers for microelectronics [Book :]resists and dielectrics / Larry F. Thompson, editor, C. Grant Willson, editor, Seiichi Tagawa, editor.

von Thompson,Larry F | Tagawa, Seiichi | Thompson, L. F, 1944- | Willson, C. G. (C. Grant), 1939- | American Chemical Society. Division of Polymeric Materials: Science and Engineering | American Chemical Society. Meeting (203rd : 1992 : San Francisco, Calif.).

Materialtyp: book Buch; Format: Druck ; Literarische Form: Sachliteratur Verlag: Washington, DC : American Chemical Society, 1994Online-Ressourcen: Publisher description | Table of contents only Verfügbarkeit: Ausleihbare Exemplare: 6october [Signatur: 621.381531 T P] (5).

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