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Special study plasma etching techniques & application in microelectronics industry . [[Thesis] /]Abdel Ati Abdel Rehiem .

Von: Abdel Rehiem , Abdel Ati.
Mitwirkende(r): Abdel Rehiem , Abdel Ati.
Materialtyp: materialTypeLabelBuchVerlag: faculty of engineering, 1995Beschreibung: 62 p : ill ; 30 cm.Schlagwörter: microelectronicsDDC-Klassifikation: 621.381 Hochschulschriftenvermerk: Thesis (M.S ) -- Alexandria university, 1995.
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